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廠家勻膠機(jī)選購巧概述
選購巧
從其原理來說,可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。口的勻膠機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大分轉(zhuǎn)速度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞。用過產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題,這點(diǎn)許多外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。
材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
概述
該設(shè)備主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種作方式。
送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺(tái)上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等藝參數(shù)均可通過編程控制。
勻膠機(jī)有個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm,同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計(jì)行恒量控制。對(duì)涂過膠的晶片有上下刮邊能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。
烘烤位,有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱,微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行,通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,將晶片送入收片盒內(nèi)。
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